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國立清華大學工程與系統科學系
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真空與薄膜實驗室

真空與薄膜實驗室

本實驗室擁有一部簡單之真空蒸鍍設備以製備薄膜,另一套超高真空系統含低能電子繞射及與俄歇電子能譜儀以及濺射槍可供表面物理研究之用。本實驗室亦利用同步輻射光以及中子束薄膜繞射及散射之技術測量薄膜結構。

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